真空泵是指通過氣體體積變化，把空間內的氣體抽成密度特小的真空狀態的設備，而真空泵使用的潤滑油就叫真空泵油。按設備抽真空的狀態，真空泵可分為機械真空泵和擴散泵。擴散泵使用的潤滑油叫擴散油，它不僅是潤滑油，還是工作液，其性能要求與用于機械真空泵的潤滑油有很大不同。

真空泵潤滑油的性能要求主要表現在以下幾方面：首先要有適當的黏度，一般轉速越高，則選的黏度越低；其次要有較低的飽和蒸氣壓，就是要有窄的餾分，盡量少含輕組分，這是真空泵油的特有要求；再次就是有優良的熱穩定性、抗氧化性、分水性及抗泡沫性，這些與壓縮機油一致。

綜上所述，真空泵油相比之空壓機油，除了要有適當的粘度，優良的熱穩定性、抗氧化性等性能外，還需要注意盡量窄的餾分，這是真空泵油和空壓機油明顯的區別，在選購時一定要注意這一點。